Расширенный
поиск

Открытый архив » Фонды » Фонд ИФП им. А.В. Ржанова СО РАН » Коллекции фонда Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН » Труды А.В. Ржанова » Доклад "Контроль параметров сверхрешеток в процессе их получения методом эллипсометрии"

Доклад "Контроль параметров сверхрешеток в процессе их получения методом эллипсометрии"

Дата: 1987
Описание документа: Опубликовано в сборнике "Доклады Академии наук СССР", 1987. Том 297, № 3 (Отдельный оттиск).
 

Is 569_029

Is 569_030

Is 569_031

Is 569_032

Is 569_033

Is 569_034
Авторы документа: Свиташев Константин Константинович, Ржанов Анатолий Васильевич, Мардежов Анатолий Селиверстович
Геоинформация: Москва
Источник поступления: Институт физики полупроводников СО АН СССР (СО РАН)
Документ входит в коллекции: Труды А.В. Ржанова